大的，因此连空气都能吸收euv，所以机器内部还得抽成高真空状态，这个项目还需要公司再投入1亿美元，建立一座真空腔体实验室，来模拟真空环境下遇到的各种问题。董事长，我辞去院长职务，推荐安格斯副院长担任院长，我继续带领光源研究所专心研究euv。”

汤普森见到孙健，内心也非常惭愧，带着一群科学家废寝忘食的奋斗了近三年，仿佛又回到了起点，但他相信一定会研发成功，凭借这项研究成果能申请诺贝尔物理奖！

光刻胶研究所所长安格斯博士在二年内就研发成功kr光刻胶，超过ibm的kr光刻胶技术，不仅拿到50万美元的奖励，还晋升光刻机半导体研究院副院长，半年后凭借这项研究成果晋升美国科学院院士。

“我同意公司再投资1亿美元的研发经费，也同意汤普森院长的辞职申请，任命安格斯副院长担任院长。”

孙健当初听说汤普森保证在三年内研发成功极紫外光技术，就同意投入3000万美元巨资，也没有抱多大幻想，

即使花了3000万美元，三年内没有研发成功，相信gca的光刻机光源技术和制程工艺也会突飞勐进。

这些年，gca重回光刻机世界之巅，汤普森领导的euv研究团队功不可没。