品率会直接受到影响，严重的还可能破坏掉重要组件。

所以车间的无尘等级是非常高的，而人又是最大的污染源，人身上每天都要脱落10亿个皮肤微粒，现在的光刻机车间进入的人员都需要穿防尘服，进入车间要经过好几道消毒除尘程序。

尽管如此还是难免会有些许灰尘进入车间，小爱这次设计的光刻机车间采用半自动模式，整个生产过程都不需要人进去。

里面大量采用机械臂传送带和专门的自动运输车，如果遇到特殊情况机械臂无法处理时，车间内还有可以通过远程操作的仿真机器人进行维护。

这台远程机器人的精度是微创手术级的，对此研发人员也没多大意外，因为这类高精度机械在医疗行业已经存在，只是价格高昂所以才没有普及，而这种高精度的手术机械臂实际上还是要经验丰富的医生来操作的，其智能程度还没办法达到自主完成手术的程度。

实际上小爱的每一台机械分身都拥有这种精度的机械臂，智能程序也可以达到自主完成手术不需要人远程操作的程度，只是现在还不是时候把这项技术拿出到台面来，就弄了一个可远程的仿真机器人来代替。

这属实有些麻烦，一开始张伟是想把关于光刻机一系列的人全部安排成机器人，但是小爱说人员实在太多，如果全部安排机器人容易被人查出问题。

现在随便科技越发的壮大，需要的人员也越来越多，全部采用机器人的方法已经不太合适了，只能在人群中安插几个机器人来作为一个大方向的引导，效率虽然低了，但是却是当下最安全的方案。